Neuartiger Prozess zur Strukturierung von Quantenmaterialien

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Rasterelektronenmikroskopaufnahme während des „Jülich Prozesses“: Zu sehen ist ein Chip während der Fabrikation. Der topologische Isolator Bild: Forschungszentrum Jülich / Peter Schüffelgen
Rasterelektronenmikroskopaufnahme während des „Jülich Prozesses“: Zu sehen ist ein Chip während der Fabrikation. Der topologische Isolator (rot eingefärbt) wurde bereits selektiv abgeschieden. In einem nächsten Fabrikationsschritt wird der Supraleiter via Schattenmaskenabscheidung aufgebracht. In schwarz-weiß sind verschiedene Maskensysteme erkennbar, die es ermöglichen die gewünschten Bauteile vollständig im Ultrahochvakuum zu fertigen.
Rasterelektronenmikroskopaufnahme während des „Jülich Prozesses“: Zu sehen ist ein Chip während der Fabrikation. Der topologische Isolator